forbot
Россия
Установки для нанесения покрытий на объемные детали купить в Томске
Русский
Валюта RUB
Установки для нанесения покрытий на объемные детали купить в Томске
Купить Установки для нанесения покрытий на объемные детали
Установки для нанесения покрытий на объемные детали

Установки для нанесения покрытий на объемные детали

ID: 24583: 7554212
В наличии
Уточняйте цену у продавца
0UAH
+7(3 
Показать телефоны
Есть вопросы по товару/услуге?
Оставьте запрос, и менеджер компании свяжется с вами.
Россия, Томск
Менее 1 года на Allbiz
Описание
Вакуумная установка является достаточно универсальным устройством для нанесения тонкопленочных покрытий различного функционального назначения, в частности твердых нанокомпозитных.

Установка включает следующие функциональные блоки:

Рабочая камера
Система безмасляной вакуумной откачки
Система охлаждения
Система газораспределения
Система измерения давления
Система позиционирования образцов
Система нагрева и контроля температуры образцов
Технологические источники (несбалансированные магнетроны, ионные источники)
Источники питания (магнетронов,ионных источников,нагрева,смещения подложки)
Пульт управления с персональным компьютером

Вакуумная камера изготовлена из нержавеющей стали в виде цилиндра с боковым проемом, закрываемым дверью и водоохлаждаемыми стенками.

Технические параметры рабочей камеры:

Параметр


Значение

Размеры рабочей камеры, мм
диаметр
высота



800
800

Материал


12Х18Н10Т

Остаточное давление в камере, Па


не более 10-5

Максимальный размер образцов, мм


Ø 200 х 400

Количество образцов, шт.


4 - 12

Фланцы:
ISO 250
ISO 160
KF 50
KF 40
KF 25



3 шт.
3шт.
3 шт.
1 шт.
3 шт.

Система безмасляной вакуумной откачки включает: форвакуумный спиральный насос с предельным давлением не более 5 Па; криогенный насос с сорбционной емкостью 2000 литров по аргону при 10-6мм.рт.ст., вакуумный затвор, систему клапанов, систему вакуумных трубопроводов и сильфонов

Система замкнутого охлаждения обеспечивает охлаждение технологических источников и вакуумной камеры и включает 4 канала. В состав системы охлаждения входят: система распределения воды и трубопроводы, датчики протока и термореле, клапаны для обеспечения дистанционного включения охлаждения, теплообменник с воздушным охлаждением.
В состав системы газораспределения входят: регуляторы расхода газа, клапаны и трубопроводы для распределения потоков рабочих газов в вакуумной камере.
В вакуумной камере расположена система позиционирования образцов. Количество устанавливаемых на манипулятор образцов размером Ø 200 х 400 мм - 4 шт. Манипулятор имеет 12 гнезд для установки образцов размером Ø 80 х 400 мм. Система перемещения позволяет изменять скорость и направление вращения подложки, а также сканирование (перемещение вперед-назад) возле заданного технологического устройства с высокой точностью. В состав системы позиционирования входят: манипулятор, электромеханический привод, магнитная муфта ввода вращения, блок управления
В вакуумной камере установлена система нагрева и контроля температуры. Система позволяет нагревать обрабатываемые образцы до температуры от 100 до 400 0С и поддерживать необходимую температуру в процессе нанесения покрытий с точностью ± 5 0С.
Установка оснащена двумя несбалансированными магнетронными распылительными системами и двумя ионными источниками с замкнутым дрейфом электронов.
Управление технологической установкой осуществляется от персонального компьютера в автоматическом или ручном режиме.
Связаться с продавцом
Установки для нанесения покрытий на объемные детали
Установки для нанесения покрытий на объемные детали
Смотрите также товары категории "Сушильное оборудование"
за
по товару
Ваше сообщение должно содержать не меньше 20 символов. Сообщение не может быть больше 2000 символов.
Не заполнено обязательное поле
Неверно заполнено поле
Неверно заполнено поле
Сравнить0
ОчиститьВыбрано позиций: 0