forbot
Россия
Установки для нанесения покрытий на полупроводниковые и диэлектрические подложки купить в Томске
Русский
Валюта RUB
Установки для нанесения покрытий на полупроводниковые и диэлектрические подложки купить в Томске
Купить Установки для нанесения покрытий на полупроводниковые и диэлектрические подложки
Установки для нанесения покрытий на полупроводниковые и диэлектрические подложки

Установки для нанесения покрытий на полупроводниковые и диэлектрические подложки

ID: 24583: 7554210
В наличии
Уточняйте цену у продавца
0UAH
+7(3 
Показать телефоны
Есть вопросы по товару/услуге?
Оставьте запрос, и менеджер компании свяжется с вами.
Россия, Томск
Менее 1 года на Allbiz
Описание
Установка VNUK-6 предназначена для осаждения тонких пленок на полупроводниковых и диэлектрических подложках, которые используются в устройствах, основанных на технологии МЭМС.
Установка состоит из следующих основных узлов и систем:
Рабочая камера в составе вакуумной камеры, манипулятора с приводом, экрана с приводом, плазмотрона, магнетронной распылительной системы, ионного источника и ИК-пирометра;
Система вакуумной откачки;
Система измерения давления;
Система охлаждения;
Система газораспределения и подачи жидких прекурсоров;
Стойка с источниками питания магнетронной распылительной системы, ионного источника, смещения подложки, плазматрона;
Шкаф системы электропитания и управления;
Рабочее место оператора.
Система автоматизированного управления установкой обеспечивает:
откачку вакуумной камеры в автоматическом и ручном режимах с отображением журнала событий;
сканирование подложки возле заданных технологических устройств, изменение и поддержание скорости ее движения, фиксацию в заранее выбранном положении;
управление выходными параметрами источников электропитания;
напуск и распределение трех газов в требуемых соотношениях, а также автоматическое поддержание рабочего давления в диапазоне от 10-2 до 1 Па;
программное выключение соответствующих устройств установки в случае аварийной ситуации;
программное и ручное управление заслонками;
управление процессом нанесения покрытий по программируемой оператором технологической карте.
Связаться с продавцом
Установки для нанесения покрытий на полупроводниковые и диэлектрические подложки
Установки для нанесения покрытий на полупроводниковые и диэлектрические подложки
Смотрите также товары категории "Сушильное оборудование"
за
по товару
Ваше сообщение должно содержать не меньше 20 символов. Сообщение не может быть больше 2000 символов.
Не заполнено обязательное поле
Неверно заполнено поле
Неверно заполнено поле
Сравнить0
ОчиститьВыбрано позиций: 0