forbot
Россия
Сильноточный импульсный источник питания купить в Томске
Русский
Валюта RUB
Сильноточный импульсный источник питания купить в Томске
Купить Сильноточный импульсный источник питания
Сильноточный импульсный источник питания

Сильноточный импульсный источник питания

ID: 24583: 7554182
В наличии
Уточняйте цену у продавца
0UAH
+7(3 
Показать телефоны
Есть вопросы по товару/услуге?
Оставьте запрос, и менеджер компании свяжется с вами.
Россия, Томск
Менее 1 года на Allbiz
Описание
Одним из достижений в развитии импульсных МРС стало применение сильноточного импульсного магнетронного распыления (HPIMS – от анг. high-power impulse magnetron sputtering). Типичные для HPIMS униполярные сильноточные импульсы, которые подаются на мишень приводят к высоким импульсным концентрациям электронов (до 6·1013 см–3) вблизи мишени. В результате достигается высокая степень ионизации не только атомов газа, но и распыленных частиц. Подавая отрицательное напряжение смещения на подложку можно регулировать энергию ионов, бомбардирующих растущую пленку, тем самым, управляя ее свойствами. Высокое отношение концентрации ионов к концентрации нейтралов в HPIMS позволяет наносить сверхплотные и гладкие металлические покрытия, пленки сложного состава (оксиды, нитриды), управлять фазовым составом и увеличивать удельную проводимость покрытий. Преимуществом HPIMS является повышенная адгезия покрытий и возможность их напыления в отверстия субмикронного размера для полупроводниковой промышленности. Основной недостаток HPIMS – пониженная скорость осаждения пленки (несколько десятков процентов от скорости осаждения при постоянном распылении).
Особенностью источников питания для сильноточных магнетронов является высокая импульсная мощность и малый коэффициент заполнения импульсов. При средней мощности источника питания для СИМР в 2 -5 кВт импульсная мощность может достигать сотен кВт. В таких источниках необходим накопитель с запасаемой энергией, существенно превышающей энергию, потребляемую разрядом за один импульс. Для возбуждения сильноточного импульсного магнетронного разряда нами разработан импульсный источник питания, имеющий структуру, аналогичную источнику питания APEL-M-5PDC мощностью 5 кВт. Для получения высокой импульсной мощности увеличены максимальное выходное напряжение (до 1000 В) и емкость накопительного конденсатора (до 2 мФ). Энергозапас конденсатороной батареи достигал 2 кДж. В качестве коммутатора использован IGBT модуль с импульсным рабочим током до 1 кА и рабочим напряжением до 1700 В. Источник питания APEL-M-5HIPIMS является источником напряжения с низким внутренним сопротивлением и индуктивностью. Поэтому скорость роста тока определяется процессами генерации носителей в зоне разряда, условиями на разрядном промежутке, а импульс тока имеет треугольную форму. Например, на приведенной ниже осциллограмме ток достигает 600 А при длительности импульса 15 мкс и амплитуде импульса напряжения 650 В, при этом максимальная импульсная мощность составляет 400 кВт, а энергия в импульсе 3 Дж.
Связаться с продавцом
Сильноточный импульсный источник питания
Сильноточный импульсный источник питания
Смотрите также товары категории "Элементы бесперебойного питания"
за
по товару
Ваше сообщение должно содержать не меньше 20 символов. Сообщение не может быть больше 2000 символов.
Не заполнено обязательное поле
Неверно заполнено поле
Неверно заполнено поле
Сравнить0
ОчиститьВыбрано позиций: 0